특징:
최신 3D유닛에 의한 고속화를 실현.기존 모델 대비 0.41초/FOV, 34% 개선을 달성했습니다.
높이 분해능 0.1μm, 반복성 10μm *획기적인 정밀도 향상을 실현. 신기술 개발로 선명하고 고정밀도의 3D 이미지를 획득합니다.
기존 2D 템플릿 및 프로세스 모드에 추가로 3D 템플릿 모드가 새롭게 추가되었습니다.
또한, 필렛 검사를 위한 새로운 알고리즘 개발.*0402 칩